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研究實現相對論性強雷射驅動超熱電子束飛秒動力學的即時測量4
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超鋒科技股份有限公司 238 新北市新北市樹林區東豐街49巷45號
一、什麼是紫外線飛秒雷射切割技術(一)飛秒雷射的獨特魅力飛秒雷射,作為雷射領域的「爆超高速先鋒」,脈衝寬度在飛秒量級(1 飛秒= 10^-15 秒)。這意味著它能在極短的時間內釋放出巨大的能量,產生極高的峰值功率。想像一下,一道閃電在瞬間釋放出比太陽表面還要高的能量密度,飛秒雷射就有這樣的「爆發力」。如此強大的能量,使得它在與材料相互作用時,能夠展現出與傳統雷射截然不同的效果。(二)紫外線波段的獨特優勢紫外線雷射,波長處於100 - 400 奈米之間,相較於其他波段的雷射,它具有更高的光子能量。這就好比一個小個子卻擁有大力士的力量,雖然身材小,但能量十足。在切割過程中,短波長讓它能夠更精準地聚焦到材料表面,如同用最細的針去繡花,實現高精度的加工,為製造精密零件提供了可能。(三)切割原理大揭秘當紫外線飛秒雷射照射到材料表面時,極短的脈衝持續時間讓能量迅速集中在極小的區域。材料表面的原子或分子瞬間吸收大量能量,發生電離,形成等離子體。等離子體就像一個能量「海綿」,迅速吸收後續的雷射能量,溫度急劇升高,導致材料迅速蒸發和氣化,從而完成切割。這種基於多光子電離和雪崩電離的切割方式,避免了傳統熱加工中熱擴散對材料週邊區域的影響,大大提高了切割精度,就像用一把無形的「超精細剪刀」,精確地裁剪材料。   紫外雷射超快雷射切割多層硬脆+薄膜材料 二、紫外線飛秒雷射切割技術的顯著優勢(一)高精度,微米世界的「精準舞者」憑藉短脈衝和短波長的特性,紫外線飛秒雷射切割能夠實現極小的光斑尺寸,達到微米甚至亞微米等級的切割精度。在微電子裝置加工領域,此優勢尤為突出。例如,晶片的製造對精度要求極高,紫外線飛秒雷射切割可以像雕刻藝術品一樣,在微小的晶片上進行精細加工,確保晶片的性能穩定,滿足現代電子裝置日益小型化和精細化的需求。(二)低熱影響區,熱敏感材料的「貼心保護者」對於一些對熱敏感的材料,如生物材料、半導體材料等,傳統加工方法可能會因為熱擴散而導致材料性能劣化。而紫外線飛秒雷射切割的短脈衝能量沉積方式,使得熱擴散時間極短,熱影響區極小。就像給材料穿上了一件「隔熱防護服」,在加工過程中有效避免了材料因受熱而產生的性能變化,為生物醫學和半導體等領域的材料加工提供了可靠的技術保障。(三)高加工效率,工業化生產的「得力助手」雖然飛秒雷射的單脈衝能量較低,但它的高重複頻率特性讓它在單位時間內能夠輸出大量的脈衝。透過合理設定參數和最佳化光束整形技術,紫外線飛秒雷射切割能夠實現較高的加工效率。在工業化生產中,這意味著能夠在更短的時間內完成更多的加工任務,提高生產效率,降低生產成本,為企業帶來更大的經濟效益。(四)廣泛的材料適應性,材料加工的「萬能鑰匙」無論是金屬材料、非金屬材料,還是有機材料、無機材料,紫外線飛秒雷射都能與之「友好互動」,實現有效的切割加工。這種廣泛的材料適應性,使得它在許多領域都能大顯身手。從航空航太領域的高性能材料切割,到光學領域的玻璃、晶體加工,紫外線飛秒雷射切割技術都能發揮重要作用,成為材料加工領域的「萬能鑰匙」。三、紫外線飛秒雷射切割技術的多元應用領域(一)微電子領域:晶片製造的「幕後英雄」在積體電路製造過程中,紫外線飛秒雷射切割技術可用於晶片的劃片、封裝接腳的切割等關鍵工序。它的高精度和低熱影響區特點,能夠有效提升晶片的製造良率和性能穩定性。在微機電系統(MEMS)加工中,也能實現複雜微結構的精確切割和加工,為微電子技術的發展提供了強有力的支持,是晶片製造背後的「幕後英雄」。(二)生物醫學領域:醫療創新的「神奇手術刀」在生物醫學材料加工方面,如生物可降解材料的切割、微流控晶片的製造等,紫外線飛秒雷射切割技術能夠滿足對材料精度和生物相容性的嚴格要求。在眼科手術中,利用飛秒雷射進行角膜切割,就像使用一把極其精準的“隱形手術刀”,能夠實現更精確的手術操作,降低手術風險,提高手術效果,為患者帶來光明和希望。(三)航空航太領域:高性能材料加工的「秘密武器」航空航太領域所使用的許多高性能材料,如鈦合金、碳纖維複合材料等,具有高強度、高硬度和耐高溫等特性,傳統加工方法難以滿足其加工要求。紫外線飛秒雷射切割技術能夠對這些材料進行高精度切割,並且在切割過程中不會引入額外的應力和損傷,保證了材料的性能和結構完整性。在航空發動機葉片的加工中,能夠實現複雜型面的精確切割和修整,成為航空航天領域高性能材料加工的「秘密武器」。(四)光學領域:光學元件製造的「精細工匠」在光學元件製造中,如玻璃、晶體等材料的切割和加工,對精度和表面品質要求極高。紫外飛秒雷射切割技術能夠實現高精度的切割和表面品質控制,透過精確控制雷射參數,還可以實現對光學元件的微納結構加工,為新型光學元件的研發和製造提供了有力的技術支持,如同一位技藝精湛的“精細工匠”,打造出高品質的光學元件。四、紫外線飛秒雷射切割技術面臨的挑戰與未來展望(一)設備成本高昂,限制應用的「攔路虎」目前,紫外線飛秒雷射切割設備涉及複雜的雷射產生技術、光束整形技術和高精度的運動控制技術等,設備研發和製造成本較高,這在一定程度上限制了其在一些對成本敏感的領域的廣泛應用。降低設備成本,成為了推動該技術更廣泛應用的關鍵議題之一。(二)加工效率有待提高,發展路上的「小阻礙」雖然紫外線飛秒雷射切割技術在加工精度和品質方面具有顯著優勢,但在某些大規模生產場景下,與傳統切割技術相比,其加工效率仍有待進一步提高。透過優化雷射參數、改進加工製程和開發更有效率的光束傳輸系統等方式,有望提升加工效率,克服此發展過程中的「小阻礙」。(三)加工過程監測與控制難度大,技術提升的「硬骨」由於紫外線飛秒雷射切割過程是一個極其快速且複雜的物理過程,涉及光與物質的相互作用、等離子體的產生和演化等多個物理現象,對加工過程的即時監測和精確控制難度較高。目前,缺乏有效的線上監控和回饋控製手段,難以實現對加工品質的全面、精確控制。攻克這項技術難題,將有助於進一步提升紫外線飛秒雷射切割技術的應用水準。 https://www.steo.com.tw/hot_531536.html 紫外線飛秒雷射切割技術:精密材料微加工 2026-03-19 2027-03-19
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在超短超強雷射與物質相互作用中,會產生短脈寬、高能量的電子,通常被稱為「超熱電子」。超熱電子的產生和傳輸是雷射高能量密度物理的重要基本問題之一。超熱電子可以激發很寬波段的超快電磁輻射,也可以驅動離子加速,快速加熱物質,作為慣性約束核融合「快點火」過程中的能量載體。各種次級輻射和粒子源的性質、等離子體加熱和能量沉積過程與超熱電子的時間、空間和能量特徵及演化動力學息息相關。經過多年研究,人們對超熱電子的能量和空間特徵已經比較清楚,但由於缺乏合適的高時間分辨測量手段,對超熱電子束時間結構和動力學過程的診斷仍然面臨挑戰。

中國科學院物理研究所/北京凝聚態物理國家研究中心光物理重點實驗室特聘研究員廖國前、研究員李玉同和中國科學院院士張傑等,對超強激光與固體靶相互作用產生高功率太赫茲輻射的新途徑進行了多年探索,提出了基於超熱電子束相干渡越輻射的太赫茲產生模型,發展了基於非共線自相關的單發超寬頻太赫茲探測技術。在上述成果基礎上,近日,研究人員提出了太赫茲輻射診斷超熱電子束的新方法,利用自主研發的高時間分辨單發太赫茲自相關儀,實現了超強激光與薄膜靶相互作用過程中超熱電子束時域結構及動力學的原位、即時測量。

該研究在理論上建構了太赫茲輻射性質與超熱電子束時空特徵的映射關係,給出了太赫茲脈寬與電子束脈寬、束斑尺寸、發射角等參數的定量聯繫。該研究準確地表徵了雷射-固體靶作用中幾十飛秒量級的超熱電子束脈寬,發現超強雷射加速的電子束在產生時具有與驅動雷射類似的脈寬,在傳輸過程中由於速度分散和角發散導致縱向時間寬度和橫向空間尺寸逐漸展寬;直接觀測到了由於雷射脈衝二次加速和靶面鞘層場導致的超熱電子回流動力學,發現當高對比雷射與薄膜靶相互作用後,電子束在靶前後表面鞘層場之間來回反彈,持續時間可達百飛秒量級。這些結果展示了單發、無損、原位、高時間分辨率的超熱電子表徵手段,有助於理解和優化基於超熱電子的超快輻射和粒子源時空特性並發展相關應用。

相關成果以Femtosecond dynamics of fast electron pulses in relativistic laser-foil interactions為題,發表在《物理評論快報》(Physical Review Letters)。研究工作得到國家自然科學基金委員會、科學技術部和中國科學院的支持。


利用太赫茲相干渡越輻射診斷超熱電子束脈寬


利用太赫茲相干渡越輻射診斷超熱電子束脈寬


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