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研究实现相对论性强雷射驱动超热电子束飞秒动力学的即时测量4
https://www.steo.com.tw/cn/ 超锋科技股份有限公司
超锋科技股份有限公司 238 新北市新北市树林区东丰街49巷45号
实验样品资讯 材质:萤光晶片 实验设备:紫外飞秒秒雷射切割机 实验目的 将材料上进行蚀刻,蚀刻深度为20um,蚀刻图形为0.728*0.728mm的方形框 间距为0.049mm 将材料进行全切,切割图形为0.728*0.728mm的方形框 间距为0.049mm 效果外观(为蚀刻39um)本图为附加吹气降温后效果;并且初步手动裂片39um参数 切割参数 功率(%)   频率 (kHz) 实际功率(w) 切割次数 切割速度(mm/s) 焦点位置 (mm) 填充间距 (mm) 填充圈数 跳转延时(ms) 效率 60 250 7.2w 100 1000 -0 0 0 0.2 — 现存问题与后续措施 评估与效能优化:目前仅完成初步的效果与效率评估。后续计画增加辅助冷却气体以加速降温、减少热影响,并藉此减小跳转延时。 功率控制与残渣处理:切割功率过大会导致材料表面融化并产生黑边。针对此问题,预计在机台设备添加高压吹气,以减少残渣堵塞切割道,避免影响光路传输。 光斑调整与制程改善:目前最大功率仅能开至 80%,且仍会出现轻微黑边。后续需要减小光斑大小(缩小焦斑),以达到制程的实际需求。 效果外观(为蚀刻20um) 39um参数 切割参数 功率(%)   频率 (kHz) 实际功率(w) 切割次数 切割速度(mm/s) 焦点位置 (mm) 填充间距 (mm) 填充圈数 跳转延时(ms) 效率 40 250 4.8w 80 800 -0 0 0 0.2 — 现存问题与后续措施 评估与效能优化:目前仅完成初步的效果与效率评估。后续计画增加辅助冷却气体以加速降温、减少热影响,并藉此减小跳转延时。 功率控制与光路优化:加工功率不可过大,否则会导致光斑与切割道随之变大。后续预计在机台设备添加高压吹气,以减少残渣堵塞切割道,避免影响光路传输。 光斑调整与制程改善:目前最大功率仅能开至 80%,且仍会出现轻微黑边。后续需要减小光斑大小,以符合制程的实际需求。 效果外观(为蚀刻45um) 39um参数 切割参数 功率(%)   频率 (kHz) 实际功率(w) 切割次数 切割速度(mm/s) 焦点位置 (mm) 填充间距 (mm) 填充圈数 跳转延时(ms) 效率 70 250 8.4w 120 1000 -0 0 0 0.2 — 现存问题与后续措施 评估与效能优化:目前仅完成初步的效果与效率评估。后续计画增加辅助冷却气体以加速降温、减少热影响,并藉此减小跳转延时。 功率控制与光路优化:在调整制程时,不可盲目增加切割次数(这只会降低加工效率),应以适当提升功率为主。同时,预计在机台设备添加高压吹气,以减少残渣堵塞切割道,避免影响光路传输。 光斑调整与制程改善:目前加工后会产生轻微黑边,且蚀刻边缘会出现发白现象。后续需要减小光斑大小,以改善边缘外观并达到品质需求。 效果外观(为全切)39um参数 切割参数 功率(%)   频率 (kHz) 实际功率(w) 切割次数 切割速度(mm/s) 焦点位置 (mm) 填充间距 (mm) 填充圈数 跳转延时(ms) 效率 80 250 9.6w 250 1000 -0 0 0 0.2 现存问题与后续措施 评估与效能优化:目前仅完成初步的效果与效率评估。后续计画增加辅助冷却气体以加速降温、减少热影响,并藉此减小跳转延时。 功率控制与光路优化:目前全切效果不理想,在尚未切断前材料即出现发黑、发白现象,且产品已有破碎与裂痕的迹象。针对此问题,机台设备预计添加高压吹气,以减少残渣堵塞切割道,避免影响光路传输。 光斑调整与制程改善:现阶段的加工效率过久、耗时过长。后续需要透过减小光斑大小,来提高能量密度与加工速度,以达到实际的产能需求。 结论一、 紫外雷射全切之加工瓶颈分析由於产品材料本身对紫外雷射(UV Laser)的吸收率低,导致全切加工难以在合理的效率内完成。在尝试全切的过程中,主要面临以下两大物理特性冲突: 材料脆性与热应力限制:本产品属於脆性材质,不可使用过高功率,否则会直接导致融边或材料崩裂。然而,在尚未切断前,产品就极易从中间产生裂缝。 复合材料能量吸收异常:在进行全切时,材料表面会出现大面积发黑与发白的现象。此情况是由於复合材料减少了对雷射能量的吸收,制程上被迫只能加大瞬态功率,进而引发严重的热影响。 二、 微细蚀刻道之光学硬体改善对策针对目前蚀刻道要求较小的限制,现有设备的加工能力已达瓶颈,必须评估进行机台配件的硬体整改。后续规划导入「小焦距场镜(小镜头)搭配扩束镜」的架构,藉此有效减小光斑大小(缩小焦斑)。必要时,将进一步加装「光闸圈(Aperture)」以修饰光束质量,从根本上解决高功率带来的崩边问题并满足微细线宽的需求。 https://www.steo.com.tw/cn/hot_535878.html 光通讯晶圆紫外飞秒切割 2026-06-30 2027-06-30
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在超短超强雷射与物质相互作用中,会产生短脉宽、高能量的电子,通常被称为「超热电子」。超热电子的产生和传输是雷射高能量密度物理的重要基本问题之一。超热电子可以激发很宽波段的超快电磁辐射,也可以驱动离子加速,快速加热物质,作为惯性约束核融合「快点火」过程中的能量载体。各种次级辐射和粒子源的性质、等离子体加热和能量沉积过程与超热电子的时间、空间和能量特徵及演化动力学息息相关。经过多年研究,人们对超热电子的能量和空间特徵已经比较清楚,但由於缺乏合适的高时间分辨测量手段,对超热电子束时间结构和动力学过程的诊断仍然面临挑战。

中国科学院物理研究所/北京凝聚态物理国家研究中心光物理重点实验室特聘研究员廖国前、研究员李玉同和中国科学院院士张杰等,对超强激光与固体靶相互作用产生高功率太赫兹辐射的新途径进行了多年探索,提出了基於超热电子束相干渡越辐射的太赫兹产生模型,发展了基於非共线自相关的单发超宽频太赫兹探测技术。在上述成果基础上,近日,研究人员提出了太赫兹辐射诊断超热电子束的新方法,利用自主研发的高时间分辨单发太赫兹自相关仪,实现了超强激光与薄膜靶相互作用过程中超热电子束时域结构及动力学的原位、即时测量。

该研究在理论上建构了太赫兹辐射性质与超热电子束时空特徵的映射关系,给出了太赫兹脉宽与电子束脉宽、束斑尺寸、发射角等参数的定量联系。该研究准确地表徵了雷射-固体靶作用中几十飞秒量级的超热电子束脉宽,发现超强雷射加速的电子束在产生时具有与驱动雷射类似的脉宽,在传输过程中由於速度分散和角发散导致纵向时间宽度和横向空间尺寸逐渐展宽;直接观测到了由於雷射脉冲二次加速和靶面鞘层场导致的超热电子回流动力学,发现当高对比雷射与薄膜靶相互作用后,电子束在靶前后表面鞘层场之间来回反弹,持续时间可达百飞秒量级。这些结果展示了单发、无损、原位、高时间分辨率的超热电子表徵手段,有助於理解和优化基於超热电子的超快辐射和粒子源时空特性并发展相关应用。

相关成果以Femtosecond dynamics of fast electron pulses in relativistic laser-foil interactions为题,发表在《物理评论快报》(Physical Review Letters)。研究工作得到国家自然科学基金委员会、科学技术部和中国科学院的支持。


利用太赫兹相干渡越辐射诊断超热电子束脉宽


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