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雷射焊接原理4
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超锋科技股份有限公司 238 新北市新北市树林区东丰街49巷45号
实验样品资讯 材质:萤光晶片 实验设备:紫外飞秒秒雷射切割机 实验目的 将材料上进行蚀刻,蚀刻深度为20um,蚀刻图形为0.728*0.728mm的方形框 间距为0.049mm 将材料进行全切,切割图形为0.728*0.728mm的方形框 间距为0.049mm 效果外观(为蚀刻39um)本图为附加吹气降温后效果;并且初步手动裂片39um参数 切割参数 功率(%)   频率 (kHz) 实际功率(w) 切割次数 切割速度(mm/s) 焦点位置 (mm) 填充间距 (mm) 填充圈数 跳转延时(ms) 效率 60 250 7.2w 100 1000 -0 0 0 0.2 — 现存问题与后续措施 评估与效能优化:目前仅完成初步的效果与效率评估。后续计画增加辅助冷却气体以加速降温、减少热影响,并藉此减小跳转延时。 功率控制与残渣处理:切割功率过大会导致材料表面融化并产生黑边。针对此问题,预计在机台设备添加高压吹气,以减少残渣堵塞切割道,避免影响光路传输。 光斑调整与制程改善:目前最大功率仅能开至 80%,且仍会出现轻微黑边。后续需要减小光斑大小(缩小焦斑),以达到制程的实际需求。 效果外观(为蚀刻20um) 39um参数 切割参数 功率(%)   频率 (kHz) 实际功率(w) 切割次数 切割速度(mm/s) 焦点位置 (mm) 填充间距 (mm) 填充圈数 跳转延时(ms) 效率 40 250 4.8w 80 800 -0 0 0 0.2 — 现存问题与后续措施 评估与效能优化:目前仅完成初步的效果与效率评估。后续计画增加辅助冷却气体以加速降温、减少热影响,并藉此减小跳转延时。 功率控制与光路优化:加工功率不可过大,否则会导致光斑与切割道随之变大。后续预计在机台设备添加高压吹气,以减少残渣堵塞切割道,避免影响光路传输。 光斑调整与制程改善:目前最大功率仅能开至 80%,且仍会出现轻微黑边。后续需要减小光斑大小,以符合制程的实际需求。 效果外观(为蚀刻45um) 39um参数 切割参数 功率(%)   频率 (kHz) 实际功率(w) 切割次数 切割速度(mm/s) 焦点位置 (mm) 填充间距 (mm) 填充圈数 跳转延时(ms) 效率 70 250 8.4w 120 1000 -0 0 0 0.2 — 现存问题与后续措施 评估与效能优化:目前仅完成初步的效果与效率评估。后续计画增加辅助冷却气体以加速降温、减少热影响,并藉此减小跳转延时。 功率控制与光路优化:在调整制程时,不可盲目增加切割次数(这只会降低加工效率),应以适当提升功率为主。同时,预计在机台设备添加高压吹气,以减少残渣堵塞切割道,避免影响光路传输。 光斑调整与制程改善:目前加工后会产生轻微黑边,且蚀刻边缘会出现发白现象。后续需要减小光斑大小,以改善边缘外观并达到品质需求。 效果外观(为全切)39um参数 切割参数 功率(%)   频率 (kHz) 实际功率(w) 切割次数 切割速度(mm/s) 焦点位置 (mm) 填充间距 (mm) 填充圈数 跳转延时(ms) 效率 80 250 9.6w 250 1000 -0 0 0 0.2 现存问题与后续措施 评估与效能优化:目前仅完成初步的效果与效率评估。后续计画增加辅助冷却气体以加速降温、减少热影响,并藉此减小跳转延时。 功率控制与光路优化:目前全切效果不理想,在尚未切断前材料即出现发黑、发白现象,且产品已有破碎与裂痕的迹象。针对此问题,机台设备预计添加高压吹气,以减少残渣堵塞切割道,避免影响光路传输。 光斑调整与制程改善:现阶段的加工效率过久、耗时过长。后续需要透过减小光斑大小,来提高能量密度与加工速度,以达到实际的产能需求。 结论一、 紫外雷射全切之加工瓶颈分析由於产品材料本身对紫外雷射(UV Laser)的吸收率低,导致全切加工难以在合理的效率内完成。在尝试全切的过程中,主要面临以下两大物理特性冲突: 材料脆性与热应力限制:本产品属於脆性材质,不可使用过高功率,否则会直接导致融边或材料崩裂。然而,在尚未切断前,产品就极易从中间产生裂缝。 复合材料能量吸收异常:在进行全切时,材料表面会出现大面积发黑与发白的现象。此情况是由於复合材料减少了对雷射能量的吸收,制程上被迫只能加大瞬态功率,进而引发严重的热影响。 二、 微细蚀刻道之光学硬体改善对策针对目前蚀刻道要求较小的限制,现有设备的加工能力已达瓶颈,必须评估进行机台配件的硬体整改。后续规划导入「小焦距场镜(小镜头)搭配扩束镜」的架构,藉此有效减小光斑大小(缩小焦斑)。必要时,将进一步加装「光闸圈(Aperture)」以修饰光束质量,从根本上解决高功率带来的崩边问题并满足微细线宽的需求。 https://www.steo.com.tw/cn/hot_535878.html 光通讯晶圆紫外飞秒切割 2026-06-30 2027-06-30
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雷射焊接是一种无接触材料加工方式,一般脉冲雷射用於薄材料的精密焊接,连续雷射用於厚材料的焊接。依熔池形态区分,如图1所示,雷射焊接可分为热传导焊和深熔焊,前者的功率密度范围为104~106 W/cm2,后者一般在107 W/cm2以上。

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图1 热导焊与深熔焊形成熔池形态差异

 

雷射焊接相对於传统焊接技术而言,可以极大的提升焊接的效率和精度,能够简单的实现多种金属或异种金属焊接需求。雷射焊接可以采用振镜扫描方式及固定焊接头方式,奈秒脉冲焊接主要采用振镜扫描方式,速度快、灵活性高。雷射焊接在消费性电子产品、半导体、电池、感测器和医疗等许多行业中,均已广泛应用。

奈秒脉冲雷射焊接原理

焊接都要经过雷射吸收产热、熔化融合和冷却凝固三个过程,由於特定材料的比热和相变潜热是固定,雷射脉冲能量越大,能够熔化的材料体积也越大。依照脉冲能量大小,脉冲雷射焊接目前也有两种主要的光源选择,一种是采用YAG雷射或QCW雷射作为焊接光源,另一种采用奈秒脉冲雷射。对YAG或QCW雷射器,其单脉冲宽度在微秒甚至毫秒量级,单脉冲能量在焦耳甚至数十焦耳量级,焊点直径通常大於1mm,采用固定焊接镜头或振镜雷射点焊的方式工作。而奈秒MOPA脉冲雷射器,单脉冲能量只有1mJ到2mJ,能够熔化的材料体积有限,单一焊点只有数十微米,通常采用振镜扫螺旋线的方式组合众多焊点形成一个焊盘,焊盘直径通常小於1mm,焊接螺旋线轨迹及剖面熔池形态如图2所示。

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图2

 

雷射焊接方式

依材料搭接方式划分,常见雷射焊接方式有拼焊、叠焊、角焊、搭边焊、桩节焊等,如图2所示。奈秒雷射薄板焊接多采用叠焊方式,其他如拼焊方式也适用。对於叠焊,熔池必须穿透上层材料延深到下层材料中,上层材料越厚对应的熔池深度越大,所需的雷射功率也越高。常见的薄片材料厚度在0.1mm到0.5mm之间,对应的需要选择60W到1000W的MOPA脉冲雷射。

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图3 雷射焊接时不同的材料搭接方式

 

众所周知,雷射焊接拉拔力是判断焊接强度的重要指标,而雷射的光束品质M 2又是影响焊接拉拔力的一个很重要的技术参数,即光束品质越好,拉拔力越强。

雷射脉冲焊接典型应用

1. 铜片螺旋焊点

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图4 雷射脉冲焊接紫铜片的(左)螺旋轨迹和(右)焊点分布

2. 异种金属焊接

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图5 (左)铝板(中)不锈钢板与(右)铜板与不同金属焊接结果

3. 3C产品精密焊接

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图6 不銹钢片焊接镍板

4. 电池极片雷射焊接

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图7 铜材及铝材电池顶盖焊接

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