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鍍膜晶圓雷射微加工4
https://www.steo.com.tw/ 超鋒科技股份有限公司
超鋒科技股份有限公司 238 新北市新北市樹林區東豐街49巷45號
材料 厚度 (mm) 速度 (m/min) 功率 (w) 氣體 氣壓 (bar) 噴嘴 焦點 切割高度(mm) 碳鋼 1 22 2000 N2/AIR 13 1.5單 -0.5 1 2 9 13 1.5單 -1 1 2 5 O2 1.5 1.2雙 +4 1 3 4 0.6 1.2雙 +4 1 4 3 0.6 1.2雙 +4 1 5 2.2 0.6 1.2雙 +4 1 6 1.8 0.6 1.5雙 +4 1 8 1.3 0.6 1.5雙 +4 1 10 1.1 0.6 2.0雙 +4 1 12 0.9 0.6 2.5雙 +4 1 14 0.8 0.6 3.0雙 +4 1 16 0.7 0.6 3.5雙 +4 1 18 0.5 0.6 4.0雙 +4 1 20 0.4 0.6 4.0雙 +4 1 不銹鋼 1 22 2000 N2/AIR 13 1.5單 -0.5 0.8 2 9 13 2.0單 -1 0.8 3 5 13 2.0單 -1.8 0.8 4 3 14 2.5單 -2.5 0.8 5 2 14 3.0單 -3 0.8 6 1.5 14 3.0單 -4 0.8 8 0.6 16 4.0單 -6 0.8 鋁板 1 20 2000 N2/AIR 13 1.5單 -0.5 0.8 2 9 13 2.0單 -1 0.8 3 4 14 2.0單 -1.8 0.8 4 1.5 14 2.5單 -2.5 0.8 5 0.9 14 3.0單 -3 0.8 6 0.6 16 4.0單 -4 0.8 2 7 13 2.0單 -1 0.8 3 3 14 2.5單 -1.8 0.8 4 1.3 14 3.0單 -2.5 0.8 5 0.7 16 4.0單 -3 0.8 備註 標註紅色的參數為打樣參數,實際加工受各類因素影響較大,僅適合小批量生產。以上切割焦點都是基於實際零焦位置參考後調整。 材料 厚度 (mm) 速度 (m/min) 功率 (w) 氣體 氣壓 (bar) 噴嘴 焦點 切割高度(mm) 碳鋼 0.6 20 1500 N2/AIR 13 1.5單 0 1 1 18 13 1.5單 -0.5 1 2 5 O2 2 1.2雙 +4 1 3 3.6 0.6 1.2雙 +4 1 4 2.5 0.6 1.2雙 +4 1 5 1.8 0.6 1.2雙 +4 1 6 1.4 0.6 1.5雙 +4 1 8 1.2 0.6 1.5雙 +4 1 10 1 0.6 2.5雙 +4 1 12 0.8 0.6 3.0雙 +4 1 14 0.65 0.6 3.5雙 +4 1 16 0.5 0.6 4.0雙 +4 1 不銹鋼 0.6 20 1500 N2/AIR 13 1.5單 0 1 1 18 13 1.5單 -0.5 0.8 2 7 13 2.0單 -1 0.8 3 4.5 13 2.0單 -1.8 0.8 4 3 14 3.0單 -2.5 0.8 5 1.5 14 3.0單 -3 0.8 6 0.8 16 4.0單 -4 0.8 鋁板 1 18 1500 N2/AIR 13 1.5單 -0.5 0.8 2 6 14 2.0單 -1 0.8 3 2.5 14 2.0單 -1.8 0.8 4 0.8 16 3.0單 -2.5 0.8 備註 標註紅色的參數為打樣參數,實際加工受各類因素影響較大,僅適合小批量生產。以上切割焦點都是基於實際零焦位置參考後調整。 材料 材料厚度 EFR F6 130–150W最高速度 EFR F6 130–150W最佳速度 300W最高速度 300W最佳速度 壓克力 3 mm 50 mm/s 35 mm/s 65 mm/s 50 mm/s 5 mm 20 mm/s 15 mm/s 42 mm/s 35 mm/s 8 mm 12 mm/s 8 mm/s 23 mm/s 17 mm/s 10 mm 10 mm/s 6 mm/s 17 mm/s 12 mm/s 15 mm 5 mm/s 3 mm/s 8 mm/s 6 mm/s 20 mm 1 mm/s 1 mm/s 4 mm/s 2 mm/s 30 mm – – 2 mm/s 1 mm/s 中密度纖維板 3 mm 30 mm/s 25 mm/s 65 mm/s 50 mm/s 5 mm 18 mm/s 15 mm/s 35 mm/s 28 mm/s 皮革 單層 45 mm/s 40 mm/s 100 mm/s 80 mm/s https://www.steo.com.tw/hot_529180.html 光纖加二氧化碳切割功率表(下) 2026-01-29 2027-01-29
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【實驗目標】空白鍍膜晶圓片XY方向各開十條溝槽

 

【實驗結果實驗開槽後


【實驗數據

【量測工具】LMI 3D傳感器


【量測方案



【Line confocal Profile image


  • 由於confocal line scan 原理可取得穿透材質多層結構,因此有看到藍色箭頭多層結構,討論時未提及此現象,因此後續量測高度、寬度皆會以最上層與底層結構量測。
↓ 藍色箭頭所指它層與斜邊就不採樣顯示及量測。
  • 雷射底層槽寬度: 0.440mm
  • 雷射最上層槽寬度: 1.002mm
  • 雷射最上層槽深度: 0.486mm


【Laser 3D scan image





【使用加工實驗機器

振鏡頭15W紫外超快固態雷射乙台,大理石抗震平台可加工大幅面產品(12吋內皆可),無準分子氣體耗材,使用壽命良好,價格實惠。




【實例應用

出機應用於各大廠VISC、晶電等1/2/3代半導體晶圓微加工與探針卡鑽孔加工清潔等應用。

  

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