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鍍膜晶圓雷射微加工4
https://www.steo.com.tw/ 超鋒科技股份有限公司
超鋒科技股份有限公司 238 新北市新北市樹林區東豐街49巷45號
不銹鋼雷射打黑效果需求設備參數 雷射器類型:紅外飛秒雷射(30W) 加工方式:振鏡掃描系統(高速雷射加工) 雷射器輸出功率:32W 實際加工功率:25W 焦點光斑大小:65 μm 在不銹鋼吸管雷射打黑應用中,採用飛秒雷射打黑技術可實現高對比、無塗層的金屬表面黑化效果。本加工使用紅外飛秒雷射系統,搭配振鏡掃描方式,大幅提升加工效率與穩定性。透過上述參數設定,飛秒雷射可在不銹鋼表面形成穩定且均勻的黑化層,不僅提升產品質感,同時具備耐磨、耐腐蝕、不易褪色等優勢,特別適合應用於不銹鋼吸管、金屬標記與高端客製化產品。 加工參數設定在金屬表面處理領域中,飛秒雷射打黑加工已成為高端製程的關鍵技術。透過超短脈衝雷射作用於材料表面,可在不銹鋼吸管等產品上形成高品質黑化效果,同時維持材料本體結構完整。以下為實際應用於不銹鋼材料的飛秒雷射加工參數: 材料:不銹鋼 加工方式:填充(Fill),填充間距 0.015 mm 頻率:500 kHz 功率設定:40% 掃描速度:500 mm/s 加工次數:2 Pass 開光時間:100 μs 關光時間:150 μs 轉角延遲:50 μs 標刻延遲:300 μs 跳躍延遲:200 μs 此參數組合可在效率與品質之間取得良好平衡,實現穩定一致的金屬黑化效果。 飛秒雷射打黑技術原理與優勢飛秒雷射屬於超快雷射加工技術,其核心優勢在於「冷加工」特性,能有效降低熱影響區(HAZ)。在金屬表面形成微奈米結構,進而產生視覺上的黑化效果。與傳統加工方式相比,具備以下優勢: ✔ 無氧化、無燒焦:避免高溫造成材料變質 ✔ 奈米級保護層:提升抗腐蝕與耐候性 ✔ 高附著力黑化效果:不需塗層、不易剝落 ✔ 高精度加工:適合微細結構與精密圖案 ✔ 環保製程:無化學藥劑殘留 應用領域飛秒雷射金屬打黑與表面炫彩技術,廣泛應用於: 不銹鋼吸管與金屬生活用品 生醫器材(高潔淨需求) 電子與半導體零件 精密模具炫彩加工 金屬打黑與精密加工效果解析飛秒雷射雕刻以其高速與高精度特性,能實現優異的加工品質,特別適用於不銹鋼打黑與精密結構加工應用。實際加工後可觀察到: 表面呈現均勻平滑的全黑效果,無反白、無反光問題 經顯微鏡放大檢視,無熱效應損傷(無熔融、無碳化) 表層形成緻密奈米結構保護膜,提升耐腐蝕與耐候性 雷射開槽加工後,邊緣無火山口現象,切面乾淨俐落 加工速度快,適合量產型金屬雷射打黑製程 相較於傳統雷射或機械加工方式,飛秒雷射在金屬黑化、精密開槽與微細結構加工上,能同時兼顧效率與品質。飛秒雷射打黑加工效率高,在50mm加工範圍內僅需8秒即可完成金屬黑化處理,兼具高速與高品質。 https://www.steo.com.tw/hot_533465.html 不銹鋼雷射打黑技術:飛秒雷射快速打黑加工應用 2026-05-01 2027-05-01
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【實驗目標】空白鍍膜晶圓片XY方向各開十條溝槽

 

【實驗結果實驗開槽後


【實驗數據

【量測工具】LMI 3D傳感器


【量測方案



【Line confocal Profile image


  • 由於confocal line scan 原理可取得穿透材質多層結構,因此有看到藍色箭頭多層結構,討論時未提及此現象,因此後續量測高度、寬度皆會以最上層與底層結構量測。
↓ 藍色箭頭所指它層與斜邊就不採樣顯示及量測。
  • 雷射底層槽寬度: 0.440mm
  • 雷射最上層槽寬度: 1.002mm
  • 雷射最上層槽深度: 0.486mm


【Laser 3D scan image





【使用加工實驗機器

振鏡頭15W紫外超快固態雷射乙台,大理石抗震平台可加工大幅面產品(12吋內皆可),無準分子氣體耗材,使用壽命良好,價格實惠。




【實例應用

出機應用於各大廠VISC、晶電等1/2/3代半導體晶圓微加工與探針卡鑽孔加工清潔等應用。

  

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