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红外/绿光/紫外雷射加工金属差异4
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超锋科技股份有限公司 238 新北市新北市树林区东丰街49巷45号
一、什么是紫外线飞秒雷射切割技术(一)飞秒雷射的独特魅力飞秒雷射,作为雷射领域的「爆超高速先锋」,脉冲宽度在飞秒量级(1 飞秒= 10^-15 秒)。这意味著它能在极短的时间内释放出巨大的能量,产生极高的峰值功率。想像一下,一道闪电在瞬间释放出比太阳表面还要高的能量密度,飞秒雷射就有这样的「爆发力」。如此强大的能量,使得它在与材料相互作用时,能够展现出与传统雷射截然不同的效果。(二)紫外线波段的独特优势紫外线雷射,波长处於100 - 400 奈米之间,相较於其他波段的雷射,它具有更高的光子能量。这就好比一个小个子却拥有大力士的力量,虽然身材小,但能量十足。在切割过程中,短波长让它能够更精准地聚焦到材料表面,如同用最细的针去绣花,实现高精度的加工,为制造精密零件提供了可能。(三)切割原理大揭秘当紫外线飞秒雷射照射到材料表面时,极短的脉冲持续时间让能量迅速集中在极小的区域。材料表面的原子或分子瞬间吸收大量能量,发生电离,形成等离子体。等离子体就像一个能量「海绵」,迅速吸收后续的雷射能量,温度急剧升高,导致材料迅速蒸发和气化,从而完成切割。这种基於多光子电离和雪崩电离的切割方式,避免了传统热加工中热扩散对材料周边区域的影响,大大提高了切割精度,就像用一把无形的「超精细剪刀」,精确地裁剪材料。   紫外雷射超快雷射切割多层硬脆+薄膜材料 二、紫外线飞秒雷射切割技术的显著优势(一)高精度,微米世界的「精准舞者」凭藉短脉冲和短波长的特性,紫外线飞秒雷射切割能够实现极小的光斑尺寸,达到微米甚至亚微米等级的切割精度。在微电子装置加工领域,此优势尤为突出。例如,晶片的制造对精度要求极高,紫外线飞秒雷射切割可以像雕刻艺术品一样,在微小的晶片上进行精细加工,确保晶片的性能稳定,满足现代电子装置日益小型化和精细化的需求。(二)低热影响区,热敏感材料的「贴心保护者」对於一些对热敏感的材料,如生物材料、半导体材料等,传统加工方法可能会因为热扩散而导致材料性能劣化。而紫外线飞秒雷射切割的短脉冲能量沉积方式,使得热扩散时间极短,热影响区极小。就像给材料穿上了一件「隔热防护服」,在加工过程中有效避免了材料因受热而产生的性能变化,为生物医学和半导体等领域的材料加工提供了可靠的技术保障。(三)高加工效率,工业化生产的「得力助手」虽然飞秒雷射的单脉冲能量较低,但它的高重复频率特性让它在单位时间内能够输出大量的脉冲。透过合理设定参数和最佳化光束整形技术,紫外线飞秒雷射切割能够实现较高的加工效率。在工业化生产中,这意味著能够在更短的时间内完成更多的加工任务,提高生产效率,降低生产成本,为企业带来更大的经济效益。(四)广泛的材料适应性,材料加工的「万能钥匙」无论是金属材料、非金属材料,还是有机材料、无机材料,紫外线飞秒雷射都能与之「友好互动」,实现有效的切割加工。这种广泛的材料适应性,使得它在许多领域都能大显身手。从航空航太领域的高性能材料切割,到光学领域的玻璃、晶体加工,紫外线飞秒雷射切割技术都能发挥重要作用,成为材料加工领域的「万能钥匙」。三、紫外线飞秒雷射切割技术的多元应用领域(一)微电子领域:晶片制造的「幕后英雄」在积体电路制造过程中,紫外线飞秒雷射切割技术可用於晶片的划片、封装接脚的切割等关键工序。它的高精度和低热影响区特点,能够有效提升晶片的制造良率和性能稳定性。在微机电系统(MEMS)加工中,也能实现复杂微结构的精确切割和加工,为微电子技术的发展提供了强有力的支持,是晶片制造背后的「幕后英雄」。(二)生物医学领域:医疗创新的「神奇手术刀」在生物医学材料加工方面,如生物可降解材料的切割、微流控晶片的制造等,紫外线飞秒雷射切割技术能够满足对材料精度和生物相容性的严格要求。在眼科手术中,利用飞秒雷射进行角膜切割,就像使用一把极其精准的“隐形手术刀”,能够实现更精确的手术操作,降低手术风险,提高手术效果,为患者带来光明和希望。(三)航空航太领域:高性能材料加工的「秘密武器」航空航太领域所使用的许多高性能材料,如钛合金、碳纤维复合材料等,具有高强度、高硬度和耐高温等特性,传统加工方法难以满足其加工要求。紫外线飞秒雷射切割技术能够对这些材料进行高精度切割,并且在切割过程中不会引入额外的应力和损伤,保证了材料的性能和结构完整性。在航空发动机叶片的加工中,能够实现复杂型面的精确切割和修整,成为航空航天领域高性能材料加工的「秘密武器」。(四)光学领域:光学元件制造的「精细工匠」在光学元件制造中,如玻璃、晶体等材料的切割和加工,对精度和表面品质要求极高。紫外飞秒雷射切割技术能够实现高精度的切割和表面品质控制,透过精确控制雷射参数,还可以实现对光学元件的微纳结构加工,为新型光学元件的研发和制造提供了有力的技术支持,如同一位技艺精湛的“精细工匠”,打造出高品质的光学元件。四、紫外线飞秒雷射切割技术面临的挑战与未来展望(一)设备成本高昂,限制应用的「拦路虎」目前,紫外线飞秒雷射切割设备涉及复杂的雷射产生技术、光束整形技术和高精度的运动控制技术等,设备研发和制造成本较高,这在一定程度上限制了其在一些对成本敏感的领域的广泛应用。降低设备成本,成为了推动该技术更广泛应用的关键议题之一。(二)加工效率有待提高,发展路上的「小阻碍」虽然紫外线飞秒雷射切割技术在加工精度和品质方面具有显著优势,但在某些大规模生产场景下,与传统切割技术相比,其加工效率仍有待进一步提高。透过优化雷射参数、改进加工制程和开发更有效率的光束传输系统等方式,有望提升加工效率,克服此发展过程中的「小阻碍」。(三)加工过程监测与控制难度大,技术提升的「硬骨」由於紫外线飞秒雷射切割过程是一个极其快速且复杂的物理过程,涉及光与物质的相互作用、等离子体的产生和演化等多个物理现象,对加工过程的即时监测和精确控制难度较高。目前,缺乏有效的线上监控和回馈控制手段,难以实现对加工品质的全面、精确控制。攻克这项技术难题,将有助於进一步提升紫外线飞秒雷射切割技术的应用水准。 https://www.steo.com.tw/cn/hot_531536.html 紫外线飞秒雷射切割技术:精密材料微加工 2026-03-30 2027-03-30
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一、雷射技术背景

雷射技术,自20世纪中叶诞生以来,已成为现代科技的基石之一,其发展背景丰富而深远。 1960年,第一台雷射的问世标志著一个新时代的开启,梅曼利用红宝石晶体成功产生了相干光,这种新型光源具有前所未有的单色性、相干性和方向性,为科学研究和技术应用开启了新天地。进入21世纪后,随著半导体泵浦技术、光纤雷射技术和超快雷射技术的发展,雷射技术迎来了新的飞跃。半导体泵浦技术提高了雷射的电光转换效率,降低了制造成本。光纤雷射以其高功率、高稳定性和紧凑的结构设计,成为工业加工的优选。超快雷射器则以其超短脉冲特性,在微纳加工和生物医学领域展现出巨大潜力。目前,雷射技术正朝著更高功率、更高精度和更广泛应用的方向发展。
随著光纤雷射技术的快速发展,雷射的输出功率、光束品质和电光效率不断提高,为高功率绿光/紫外雷射的研发提供了技术基础。非线性光学倍频技术的发展,使得从红外线光纤雷射转换到绿光雷射成为可能,提高了绿光/紫外雷射的输出功率。在工业加工领域,高功率雷射设备在航空航太、汽车制造、船舶制造等领域的切割、焊接、打标、测量发挥著重要的作用;在医疗应用领域,雷射的精确性和控制能力使其在眼科手术、皮肤治疗和其他医疗程序中已广泛应用。雷射技术已经渗透到日常生活的方方面面,从工业制造到艺术创作,再到科学研究。随著技术的进步,高功率雷射的研发使得雷射在工业加工能力上显著提升。

二、高功率、短波长雷射的应用发展及优势

高功率绿光/紫外雷射的发展备受关注。连续光纤雷射器由於其运转模式连续及其波导式结构的特点,具有输出雷射能量均匀、高增益、高转换效率、可实现超高功率输出、光束品质较好、容易实现单模输出和性能稳定等优点。

雷射与材料相互作用的原理是复杂多样的,不同的雷射参数(如波长、功率、脉冲宽度等)和材料特性会导致不同的相互作用效果。这些交互作用的结果在雷射技术的应用中有著广泛的利用,如材料加工、医疗治疗、科学研究等。图1表示了不同材料对不同波长雷射的吸收率曲线图。可以看出不同材料对不同波长雷射的吸收率曲线不同。加工过程中材料吸收的雷射能量可转换为热能,导致材料局部温度升高。这种热效应在雷射切割、焊接和热处理等过程中非常重要,导致材料相变,如熔化、蒸发或升华。

铜材料是世界上应用最广的金属材料之一,在常温条件下,如图2所示,铜材对1064nm波段的雷射吸收率只有不到5%,而对532nm的绿光的吸收率可以达40%,相当於是近红外线波段雷射的8倍。而铜材大量应用於锂电、微电子等产业,目前工业界使用最多的是1064nm波段的近红外线雷射器,由於铜对1064nm波段雷射吸收率低而会在加工过程中出现效率低、气泡、飞溅等问题,而绿光/紫外雷射用於切割或焊接铜材等材料的效果比近红外线雷射效果好很多。因此实现高功率、高效率的连续绿光输出成为雷射的研究热点之一。

图1. 铜对不同波长的吸收率

图2表示了几种典型粉末材料对不同波长雷射的吸收率曲线图。可以看出不同材料对不同波长雷射的吸收率曲线不同。加工过程中材料吸收的雷射能量可转换为热能,导致材料局部温度升高。这种热效应在雷射切割、焊接和热处理等过程中非常重要,导致材料相变,如熔化、蒸发或升华。


图2. 典型粉末材料对各波长雷射的吸收率

绿光雷射的一个重要应用是3D列印技术。在金属3D列印领域,绿光雷射可以提高列印质量,实现纯铜材料复杂结构的3D 列印,图3为单模连续绿光光纤雷射纯铜列印分析结果。

使用单模连续绿光光纤雷射作为光源,在列印纯铜方面的应用是一个相对较新的技术领域,它利用了绿光雷射的光束特性来克服传统雷射技术在处理高反射材料时遇到的挑战。由於纯铜对绿光的吸收率远高於对近红外光的吸收率,使得绿光雷射在铜材料的加工上更为有效。另一方面,单模雷射产生的光束具有很高的品质和一致性,这对於精密加工至关重要,尤其是在列印纯铜时,可以确保列印过程的精细度和一致性。


而在短波长雷射的开发中,紫外线(UV)雷射器和蓝光雷射则因其独特的应用特性而备受关注。由於紫外线雷射波长较短,对材料的纯度和光学特性要求极高,目前难以找到能够承受高功率紫外线雷射的材料,市场上出现的超过百瓦的紫外线雷射并不多见。蓝光雷射虽然目前已有制造商实现了千瓦级的功率输出,但在光纤合束前,蓝光雷射需要进行空间合束,这一过程对雷射光束的品质、稳定性和功率分布有严格要求,与光纤雷射器相比,蓝光雷射的光束品质较差,这限制了其在某些精密加工应用中的性能。

三、结语与展望

高功率绿光在铜材精密焊接上有著明显优势,特别在电气控制的IGBT和扁线马达焊接上,具有热影响小,飞溅小,拉力稳定,良率高。除了在铜等高反金属材料焊接上有突出的物理特性优势;还在高精密、高效率铜材料3D列印上,有著巨大的应用潜力。

(a)车载级高压充电端子

(b) IGBT模组接脚雷射焊接应用

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