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光纤加二氧化碳切割功率表(上)4
https://www.steo.com.tw/cn/ 超锋科技股份有限公司
超锋科技股份有限公司 238 新北市新北市树林区东丰街49巷45号
实验样品资讯 材质:萤光晶片 实验设备:紫外飞秒秒雷射切割机 实验目的 将材料上进行蚀刻,蚀刻深度为20um,蚀刻图形为0.728*0.728mm的方形框 间距为0.049mm 将材料进行全切,切割图形为0.728*0.728mm的方形框 间距为0.049mm 效果外观(为蚀刻39um)本图为附加吹气降温后效果;并且初步手动裂片39um参数 切割参数 功率(%)   频率 (kHz) 实际功率(w) 切割次数 切割速度(mm/s) 焦点位置 (mm) 填充间距 (mm) 填充圈数 跳转延时(ms) 效率 60 250 7.2w 100 1000 -0 0 0 0.2 — 现存问题与后续措施 评估与效能优化:目前仅完成初步的效果与效率评估。后续计画增加辅助冷却气体以加速降温、减少热影响,并藉此减小跳转延时。 功率控制与残渣处理:切割功率过大会导致材料表面融化并产生黑边。针对此问题,预计在机台设备添加高压吹气,以减少残渣堵塞切割道,避免影响光路传输。 光斑调整与制程改善:目前最大功率仅能开至 80%,且仍会出现轻微黑边。后续需要减小光斑大小(缩小焦斑),以达到制程的实际需求。 效果外观(为蚀刻20um) 39um参数 切割参数 功率(%)   频率 (kHz) 实际功率(w) 切割次数 切割速度(mm/s) 焦点位置 (mm) 填充间距 (mm) 填充圈数 跳转延时(ms) 效率 40 250 4.8w 80 800 -0 0 0 0.2 — 现存问题与后续措施 评估与效能优化:目前仅完成初步的效果与效率评估。后续计画增加辅助冷却气体以加速降温、减少热影响,并藉此减小跳转延时。 功率控制与光路优化:加工功率不可过大,否则会导致光斑与切割道随之变大。后续预计在机台设备添加高压吹气,以减少残渣堵塞切割道,避免影响光路传输。 光斑调整与制程改善:目前最大功率仅能开至 80%,且仍会出现轻微黑边。后续需要减小光斑大小,以符合制程的实际需求。 效果外观(为蚀刻45um) 39um参数 切割参数 功率(%)   频率 (kHz) 实际功率(w) 切割次数 切割速度(mm/s) 焦点位置 (mm) 填充间距 (mm) 填充圈数 跳转延时(ms) 效率 70 250 8.4w 120 1000 -0 0 0 0.2 — 现存问题与后续措施 评估与效能优化:目前仅完成初步的效果与效率评估。后续计画增加辅助冷却气体以加速降温、减少热影响,并藉此减小跳转延时。 功率控制与光路优化:在调整制程时,不可盲目增加切割次数(这只会降低加工效率),应以适当提升功率为主。同时,预计在机台设备添加高压吹气,以减少残渣堵塞切割道,避免影响光路传输。 光斑调整与制程改善:目前加工后会产生轻微黑边,且蚀刻边缘会出现发白现象。后续需要减小光斑大小,以改善边缘外观并达到品质需求。 效果外观(为全切)39um参数 切割参数 功率(%)   频率 (kHz) 实际功率(w) 切割次数 切割速度(mm/s) 焦点位置 (mm) 填充间距 (mm) 填充圈数 跳转延时(ms) 效率 80 250 9.6w 250 1000 -0 0 0 0.2 现存问题与后续措施 评估与效能优化:目前仅完成初步的效果与效率评估。后续计画增加辅助冷却气体以加速降温、减少热影响,并藉此减小跳转延时。 功率控制与光路优化:目前全切效果不理想,在尚未切断前材料即出现发黑、发白现象,且产品已有破碎与裂痕的迹象。针对此问题,机台设备预计添加高压吹气,以减少残渣堵塞切割道,避免影响光路传输。 光斑调整与制程改善:现阶段的加工效率过久、耗时过长。后续需要透过减小光斑大小,来提高能量密度与加工速度,以达到实际的产能需求。 结论一、 紫外雷射全切之加工瓶颈分析由於产品材料本身对紫外雷射(UV Laser)的吸收率低,导致全切加工难以在合理的效率内完成。在尝试全切的过程中,主要面临以下两大物理特性冲突: 材料脆性与热应力限制:本产品属於脆性材质,不可使用过高功率,否则会直接导致融边或材料崩裂。然而,在尚未切断前,产品就极易从中间产生裂缝。 复合材料能量吸收异常:在进行全切时,材料表面会出现大面积发黑与发白的现象。此情况是由於复合材料减少了对雷射能量的吸收,制程上被迫只能加大瞬态功率,进而引发严重的热影响。 二、 微细蚀刻道之光学硬体改善对策针对目前蚀刻道要求较小的限制,现有设备的加工能力已达瓶颈,必须评估进行机台配件的硬体整改。后续规划导入「小焦距场镜(小镜头)搭配扩束镜」的架构,藉此有效减小光斑大小(缩小焦斑)。必要时,将进一步加装「光闸圈(Aperture)」以修饰光束质量,从根本上解决高功率带来的崩边问题并满足微细线宽的需求。 https://www.steo.com.tw/cn/hot_535878.html 光通讯晶圆紫外飞秒切割 2026-06-30 2027-06-30
超锋科技股份有限公司 238 新北市新北市树林区东丰街49巷45号 https://www.steo.com.tw/cn/hot_535878.html
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https://schema.org/EventMovedOnline https://schema.org/OfflineEventAttendanceMode
2026-06-30 http://schema.org/InStock TWD 0 https://www.steo.com.tw/cn/hot_535878.html

材料

厚度[mm]

速度[m/min]

功率 [W]

气体

气压 [bar]

喷嘴[mm]

焦点位置 [mm]

切割高度[mm]

碳钢

1

30-45

6000

N2/Air

12

1.5S

0

1

2

20-25

12

2.0S

-1

0.5

3

12-14

14

2.0S

-1.5

0.5

4

7-8

14

2.0S

-2

0.5

5

5-6

16

3.0S

-2.5

0.5

6

4.5-5

16

3.5S

-3

0.5

碳钢

3

3.5-4.2

2400

O2

0.6

1.2E

+3

0.8

4

3.3-3.8

2400

0.6

1.2E

+3

0.8

5

3-3.6

3000

0.6

1.2E

+3

0.8

6

2.7-3.2

3300

0.6

1.2E

+3

0.8

8

2.2-2.5

4200

0.6

1.2E

+3

0.8

10

2.0-2.3

5500

0.6

1.2E

+4

0.8

12

0.9-1

2200

0.6

3.0D

+2.5

0.8

12

1.9-2.1

6000

0.6

1.2E

+5

0.8

14

0.8-0.9

2200

0.6

3.5D

+2.5

0.8

14

1.4-1.7

6000

0.6

1.4E

+5

1

16

0.8-0.9

2200

0.6

4.0D

+2.5

0.8

16

1.2-1.4

6000

0.6

1.4E

+6

1

18

0.65-0.75

2200

0.6

4.0D

+2.5

0.8

18

0.8

6000

0.6

1.6S

+12

0.3

20

0.5-0.6

2400

0.6

4.0D

+3

0.8

20

0.6-0.7

6000

0.6

1.6S

+13

0.3

22

0.45-0.5

2400

0.6

4.0D

+3

0.8

22

0.5-0.6

6000

0.6

1.6S

+13

0.3

不銹钢

1

30-45

6000

N2

10

1.5S

0

0.8

2

25-30

12

2.0S

-1

0.5

3

15-18

12

2.5S

-1.5

0.5

4

10-12

14

2.5S

-2

0.5

5

7-8

14

3.0S

-2.5

0.5

6

4.5-5

15

3.0S

-3

0.5

8

3.5-3.8

15

3.0S

-4

0.5

10

1.5-2

15

3.5S

-6

0.5

12

1-1.2

16

3.5S

-7.5

0.5

14

0.8-1

16

4.0S

-9

0.5

16

0.5-0.6

18

4.0S

-10.5

0.5

18

0.4-0.5

20

5.0S

-11

0.3

20

0.2-0.35

20

5.0S

-12

0.3

铝合金

1

35-45

6000

N2

12

1.5S

0

1

2

20-25

12

2.0S

-1

0.5

3

14-16

14

2.5S

-1.5

0.5

4

8-10

14

2.5S

-2

0.5

5

5-6

14

3.0S

-3

0.5

6

3.5-4

16

3.0S

-3

0.5

8

1.5-2

16

3.0S

-4

0.5

10

1-1.2

18

3.5S

-4.5

0.5

12

0.6-0.7

18

4.0S

-5

0.5

14

0.4-0.6

18

4.0S

-5

0.3

16

0.3-0.4

20

5.0S

-8

0.3





































































































































材料

厚度

mm

速度

(m/min)

功率

(w)

气体

气压

(bar)

喷嘴

焦点

切割高度(mm)

碳钢

1

25

3000

N2/AIR

13

1.5

-0.5

1

2

18

13

1.5

-1

1

2

5.5

1200

O2

1.5

1.2

+4

1

3

4

2000

0.6

1.2

+4

1

4

3.5

2400

0.6

1.2

+4

1

5

3.2

2400

0.6

1.2

+4

1

6

2.7

3000

0.6

1.2

+4

1

8

2.2

3000

0.6

1.2

+4

1

10

1.5

3000

0.6

1.2

+4

1

12

1.2

2400

0.6

2.5

+4

1

14

0.9

2400

0.6

3.0

+4

1

16

0.75

2400

0.6

3.5

+4

1

18

0.65

2400

0.6

4.0

+4

1

20

0.6

2400

0.6

4.0

+4

1

22

0.55

2400

0.6

4.0

+4

1

不銹钢

1

25

3000

N2/AIR

13

1.5

-0.5

0.8

2

18

13

2.0

-1

0.8

3

9

13

2.0

-1.8

0.8

4

6.5

14

2.5

-2.5

0.8

5

3.6

14

3.0

-3

0.8

6

2.7

14

3.0

-4

0.8

8

1.2

16

3.5

-6

0.8

10

0.8

16

4.0

-8

0.8

铝板

1

22

3000

N2/AIR

13

1.5

-0.5

0.8

2

16

13

2.0

-1

0.8

3

8

14

2.0

-1.8

0.8

4

6

14

2.5

-2.5

0.8

5

3.2

14

3.0

-3

0.8

6

2

16

3.5

-4

0.8

8

0.9

16

4.0

-6

0.8

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