HX200-A 六足並聯位移台
六足位移台是一種結構緊湊的六自由度（6DOF）並聯運動系統，可實現 0.1 μm 級高精度定位與姿態調整，專為精密光學與奈米科技應用而設計。
其在解析度、定位精度、穩定性及體積尺寸等方面均符合嚴苛的工程標準，可輕鬆整合至狹小空間環境中，例如同步加速器光束線測角儀尖端，或用於空間光學元件的對準與校準設備。並有真空相容型（可在 10⁻⁷ Torr 高真空環境下運作）及低溫型（可在 −40 °C 低溫條件下穩定工作）。
產品參數
一、主動軸（6 自由度）
- X ｜ Y ｜ Z ｜ θX ｜ θY ｜ θZ
- X 向行程：± 15 mm
- Y 向行程：± 15 mm
- Z 向行程：± 10 mm
- θX 旋轉範圍：± 7°
- θY 旋轉範圍：± 7°
- θZ 旋轉範圍：± 10°
- X 向最大速度：10 mm/s
- Y 向最大速度：10 mm/s
- Z 向最大速度：10 mm/s
- θX 最大角速度：200 mrad/s
- θY 最大角速度：200 mrad/s
- θZ 最大角速度：200 mrad/s
- X 向最小位移：5 µm
- Y 向最小位移：5 µm
- Z 向最小位移：2 µm
- θX 最小角位移：10 µrad
- θY 最小角位移：10 µrad
- θZ 最小角位移：10 µrad
- X 向：± 10 µm
- Y 向：± 10 µm
- Z 向：± 10 µm
- θX：± 25 µrad
- θY：± 25 µrad
- θZ：± 25 µrad
- X 向剛性：0.8 N/µm
- Y 向剛性：0.8 N/µm
- Z 向剛性：8 N/µm
- 最大負載能力（底板沿水平方向）：5 kg
- 最大負載能力（底板沿任意方向）：2.5 kg
- 最大保持力（底板沿水平方向）：15 N
- 最大保持力（底板沿任意方向）：2.5 N
- 總重量：約 2.5 kg
- 材料：鋁、不鏽鋼