HX200-A 六足并联位移台
六足位移台是一种结构紧凑的六自由度（6DOF）并联运动系统，可实现 0.1 μm 级高精度定位与姿态调整，专为精密光学与奈米科技应用而设计。
其在解析度、定位精度、稳定性及体积尺寸等方面均符合严苛的工程标准，可轻松整合至狭小空间环境中，例如同步加速器光束线测角仪尖端，或用於空间光学元件的对准与校准设备。并有真空相容型（可在 10⁻⁷ Torr 高真空环境下运作）及低温型（可在 −40 °C 低温条件下稳定工作）。
产品参数
一、主动轴（6 自由度）
- X ｜ Y ｜ Z ｜ θX ｜ θY ｜ θZ
- X 向行程：± 15 mm
- Y 向行程：± 15 mm
- Z 向行程：± 10 mm
- θX 旋转范围：± 7°
- θY 旋转范围：± 7°
- θZ 旋转范围：± 10°
- X 向最大速度：10 mm/s
- Y 向最大速度：10 mm/s
- Z 向最大速度：10 mm/s
- θX 最大角速度：200 mrad/s
- θY 最大角速度：200 mrad/s
- θZ 最大角速度：200 mrad/s
- X 向最小位移：5 µm
- Y 向最小位移：5 µm
- Z 向最小位移：2 µm
- θX 最小角位移：10 µrad
- θY 最小角位移：10 µrad
- θZ 最小角位移：10 µrad
- X 向：± 10 µm
- Y 向：± 10 µm
- Z 向：± 10 µm
- θX：± 25 µrad
- θY：± 25 µrad
- θZ：± 25 µrad
- X 向刚性：0.8 N/µm
- Y 向刚性：0.8 N/µm
- Z 向刚性：8 N/µm
- 最大负载能力（底板沿水平方向）：5 kg
- 最大负载能力（底板沿任意方向）：2.5 kg
- 最大保持力（底板沿水平方向）：15 N
- 最大保持力（底板沿任意方向）：2.5 N
- 总重量：约 2.5 kg
- 材料：铝、不锈钢