X-BOT-50 六轴精密位移平台
X-BOT-50 是一款微型六轴平台（hexapod），高度仅 60mm，能以次微米精度进行精密元件的定位和调整，提供五自由度的运动范围。其平台下方可整合 360° 的 Z 轴旋转功能，以实现完整的六自由度运动。此产品提供高真空（HV）、超高真空（UHV）及非磁性版本，并可根据需求定制行程范围。
产品特点
- 运动范围：±14mm (X/Y)、±2.5mm (Z)、±9° (X 轴倾斜)、±10° (Y 轴倾斜) 相对中心位置
- 最大负载：200g
- 最大开孔尺寸：19 x 19 mm（不包含 PR-20 旋转台）
- 最小开孔尺寸：9.5 x 9.5 mm
- 采用交叉滚柱轴承，确保平稳运行
- 平台高度：中心位置 60mm，最低位置 57mm
- 提供真空适用版本
设备参数
