准分子/超快雷射加工系统
Micro Master
- 弹性设计准分子雷射加工系统，可搭配高/低功率准分子雷射
- 研发与产业应用规划
- 提供高均相光束的雷射加工，获得最优化产值
- 高精度能量控制设计
- 可达 <1.5μm 解析度
- 提供μm等级加工精度
- 不同加工模式设计，可针对特定应用
- 200mm x 200mm以上的雷射加工区域
Pro Master
- 低功率准分子雷射加工系统，研发工具利器
- 可达 <1.5μm 解析度
- 内建32基本图案可选换光圈
- 搭配TTL影像系统
- 内建气瓶柜，软体自动更换气体
- 100mm x 100mm的雷射加工区域
Custom Excimer / Femto Laser Workstation
- 客制化准分子雷射/超快飞秒雷射加工平台，为各特定不同制程量身订作专用设备
- 搭配自动化周边与自动化控制
- 专用软体程式设计
